エピタキシャル-詳細情報



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高品質エピタキシャル薄膜の作製と機能デバイスの開発

基板となる結晶と特定の結晶学的方位関係を保ちつつ結晶膜を堆積成長させることをエピタキシャル成長(epitaxial ... エピタキシーが起こるための条件としては基板結晶の結晶面の格子サイズと、エピタキシャル成長した結晶の格子サイズを比較して、 ...
http://www.apchem.nagoya-u.ac.jp/BS-6/seigyo6/epitaxial_films.html

疑似エピタキシャル成長基盤

薄膜は何らかの基板に支えられることが必要で、その基板の結晶格子をテンプレートとしていわゆるエピタキシャル成長をします。 ... 目標とするエピタキシャル薄膜の結晶格子方位に対して基板の結晶格子が傾斜整合する角度に基板表面を切り出しておくことによって、 ...
http://www.aist.go.jp/aist_j/research/patent/2007/09_2/index.html

１-４-３ 液相エピタキシャル成長装置

気相エピタキシャル成長法に比べて装置が簡便である。 図１に研究用液相エピタキシャル装置の概略図を示す。 ... 工業用に使用される液相エピタキシャル成長装置の概念図を図２に示す。 以下が特長である。 温度差法による成膜方式 ...
http://www.jpo.go.jp/shiryou/s_sonota/hyoujun_gijutsu/semicon_vacuum_tech/1_4_3.htm

株式会社ナノテコ: 電子デバイス、エピタキシャル基板の開発、デバイスの ...

株式会社ナノテコのページへようこそ ... 2007/2/26. 一般照明向け白色LEDにて. 100Lm/W超を達成. 2007/2/27. 2007年2月27日(火) 日経産業新聞に掲載されました. このサイトにおける全てのデータの無断転載 ...
http://www.nanoteco.com/index.html

窒化物半導体エピタキシャルウェハ

... (GaN系)半導体エピタキシャルウエハの御注文を承ります。 ... この度NTT-ATは、NTT研究所が開発した高歩留率を有する窒化物半導体製造技術を導入し、HEMT用窒化物半導体エピタキシャル基板の本格的な製造販売を開始致しました。 ...
http://www.keytech.ntt-at.co.jp/electro/prd_1002.html

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フロンティアの題名の通りこれまで教科書で扱っていない題材（GaN，ナノ構造，磁性半導体，超LSI，プラズマ励起，巨大分子）が載っている．勿論限られたページ数で，広範囲の話題を網羅的に書くために，紹介に留まるが，入門書として適度のレベルである．異なる分野をエピタキシャル成長で括っているので，専門分野以外の話も参考になるように書かれている．

エピタキシャル膜の作製における制御と評価 (1979年)

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昭和電工、エシキャットからパワー半導体用ＳｉＣエピタキシャル ...

昭和電工株式会社（社長：高橋 恭平、以下「昭和電工」）と有限責任事業組合エシキャット・ジャパン（代表：渡辺 純一、以下「エシキャット」）は、２００８年末までに、エシキャットが有するパワー半導体用ＳｉＣ（炭化ケイ素）エピタキシャル ...more

（158円）Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ 均一なフォトニック結晶構造を形成 ...

ウエーハ上のエピタキシャル層に塗布したUV硬化レジストに，数百nmピッチの凹凸形状を均一に形成できる。ウエーハに反りがあっても，その影響を受けにくいという特徴がある。レジストの凹凸構造は，エピタキシャル層のエッチング用マスクとして利用する。more

昭和電工，パワー半導体向けSiCウエハー事業に本格参入

昭和電工が，パワー半導体向けSiCエピタキシャル・ウエハーの製造事業に乗り出す。エシキャット・ジャパンが持つ同事業を譲り受け，2009年1月より本格的に事業運営に乗り出す。more

シリコン新素材「SiC」

電子立国ニッポン再生のカギは“SiC技術”だ（1/3） − ＠IT MONOist プレス・リリース 炭化ケイ素(SiC)半導体エピタキシャルウ...more

ひょうきん006 - ファミコンしりとりコーナー

チッチ ： スーパーエキサイティングエピタキシャルゴールデンサンシャインメガデオキシリボスイバクゲルマニウムビーム 山口 ： （半熟！ チッチ ： （早く言いたかった 山口 ： むこうみずななめくじ （MOTHER2） チッチ ： G・H・ピカール （MOTHER2） ...more

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エピタキシャル成長の違いを教えてください！！

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